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Equipements

par Rosso Michel - publié le

Caractérisations spectroscopiques : FTIR en mode ATR (« attenuated total reflection ») avec un prisme en silicium pour étudier in situ la chimie des interfaces électrochimiques. Un spectromètre spécifique a été construit et deux spectromètres commerciaux ont été modifiés pour les études in situ.
Microscopies de sondes locales : STM in situ pour étudier la morphologie et la réactivité des interfaces électrochimiques. Les derniers développements permettent d’acquérir des images en mode rapide ; AFM : utilisation ex situ pour les caractérisations des surfaces (mode contact et non contact, mesures de conductivité locale, MFM). Utilisation in situ pour la nanostructuration avec un AFM commercial modifié.
Caractérisations structurales : Diffraction et mesures de réflectivité sur couches minces avec un diffractomètre 4 cercles haute résolution construit au laboratoire. Les caractérisations in situ (en solution) sont réalisées à l’ESRF (Grenoble) ou à SOLEIL ; Mesures de réflectivité des rayons X.
Mesures magnéto optiques par effet Kerr in situ et en temps réel (sensibilité sub-monocouche) pour caractériser le magnétisme des couches ultraminces.
Nanolithographie électrochimique : technique permettant de nanostructurer en une seule étape une couche métallique par application d’impulsion de potentiel entre une pointe métallisée d’un AFM et la couche.
Mesures électrochimiques (Voltammétrie, impédance, mesures transitoires, électrode tournante, microbalance à quartz...).
Dépôt PECVD : La décomposition chimique en phase vapeur assistée par plasma (PECVD) en régime basse puissance permet de déposer des couches de silicium amorphe hydrogéné et ses alliages carbonés. Le plasma des gaz méthane et silane est créé par décharge électrique dans un réacteur à couplage capacitif RF (13,56 MHz) avec une densité de puissance de 0,1 W.cm^{-2}. Les dépôts sont effectués à 250°C sous une pression de 35 mTorr et avec un flux de gaz de 2L/h.
Biopuces : Nous disposons de deux robots de dépôt (« spotter ») pouvant déposer de manière contrôlée des volumes très faibles d’échantillons biologiques. Les dépôts se font sans contact avec le spotteur à tête jet d’encre Arrayjet Sprint Microarrayer (V ≈ pL) et avec contact sur la biopuce avec le spotteur BioRobotics MicroGrid II (V ≈ nL). La lecture de la fluorescence se fait avec le scanner DiagArray et par l’imageur Hyblive in situ en temps réel de la société Genewave.