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Couches Minces fonctionnelles

par Anne-Marie - publié le , mis à jour le

Les couches minces sont souvent mises en œuvre pour la réalisation de dispositifs. Les travaux décrits ici tirent grandement profit des activités liés aux aspects organisation et interactions moléculaires sur les surfaces de silicium et croissance PECVD de couches minces de silicium amorphe carboné développés dans l’équipe. Par exemple, l’architecture des biopuces sur silicium repose sur le dépôt d’une couche mince a-Si s’épaisseur bien choisie (Fig. 1). Nous explorons aussi la mise en forme de matériaux métallorganiques sur des surfaces de silicium fonctionnalisées.

Fig. 1 : Exemple d’architectures de biopuces à fluorescence sur silicium amorphe carboné (a-SiC). (a) Une couche λ/4 de a-SiC est déposée sur un miroir métallique ; (b) Une couche nanométrique de a-SiC est déposée sur des grains d’or ou d’argent pour amplifier la fluorescence (effet plasmonique). D’après Ref.

Projets en cours :
 Le silicium amorphe comme matériaux d’électrode négative de batterie Li-ion :
Nous étudions le silicium amorphe comme matériaux d’électrode négative dans une batterie Li-ion .

 Croissance de couches de composés organométalliques :
Nous étudions la croissance de couches d’analogues du bleu de Prusse et de films MOFs (metal-organic framework) sur des surfaces fonctionnalisées.

 Biopuces fluorescentes et plasmoniques sur silicium :
Nous développons différentes architectures de biopuces fluorescentes et plasmoniques performantes et réutilisables basées sur l’accrochage covalent de sondes sur du silicium amorphe.

Travaux récents :
Silicium poreux à partir du silicium amorphe
Formation de silice poreuse
Dissolution électrochimique du silicium en milieu fluorures
Couches pour la microélectronique